Oblasti použitia materiálov tantalových terčov

Používa sa hlavne pri fyzikálnom nanášaní pár a iných procesoch, počas procesu naprašovania sú atómy na povrchu tantalového terča bombardované a ukladané vo forme tenkého filmu na substrát, aby sa získal požadovaný tenký filmový materiál.
Teplota topenia tantalu je až 2996 stupňov , čo umožňuje tantalovým terčom udržať si dobrú štrukturálnu stabilitu v prostredí vysokoteplotného naprašovania- a nie je ľahké ho zdeformovať alebo vypariť. Hustota je zvyčajne vyššia ako 16,6 g/cm³, čo môže znížiť problémy s praskaním alebo deformáciou počas naprašovania a zároveň znížiť rozstrekovanie častíc a zlepšiť kvalitu filmu. Pri teplote naprašovania nie je ľahko prchavý, čo zaisťuje minimálnu stratu materiálu terča počas procesu naprašovania a poskytuje stabilné atómy tantalu na nanášanie tenkých vrstiev.
Chemické vlastnosti tantalu sú veľmi stabilné a takmer nereaguje s inými kyselinami okrem kyseliny fluorovodíkovej a horúcej koncentrovanej kyseliny sírovej. Môže sa používať aj dlhodobo v drsnom chemickom prostredí a tantalový film z neho vyrobený má tiež dobrú odolnosť proti korózii. Povrch tantalu je náchylný na vytvorenie hustého a stabilného pasivačného filmu oxidu tantalu, ktorý môže účinne zabrániť ďalšej oxidačnej korózii a zlepšiť životnosť materiálu.
Oblasť aplikácie
Pri výrobe integrovaných obvodov sa materiály z tantalových terčíkov používajú na prípravu vrstiev difúznej bariéry, zabraňujú difúzii medených prepojení do kremíkových substrátov, zlepšujú spoľahlivosť a výkon zariadenia a možno ich použiť aj ako materiály hradla alebo súčasť kovových hradel pre MOSFET, ako aj elektródy kondenzátorov v pamäťových zariadeniach s vysokou{0}}hustotou, ako je DRAM.
Pri výrobe displejov z tekutých kryštálov (LCD) a organických -diód emitujúcich svetlo (OLED) sa tantalové terčíky používajú na prípravu elektród a vrstiev vodičov tenkovrstvových tranzistorov (TFT). Ich stabilita a vodivosť pomáhajú zlepšiť kvalitu zobrazenia. Okrem toho sa dajú použiť aj ako tenkovrstvové zapuzdrovacie vrstvy v OLED na predĺženie životnosti zariadenia.
Tantalové filmy vysokej{0}}čistoty, ktoré sa používajú na prípravu optických filmov, ako sú antireflexné povlaky alebo filtre, majú jednotný index lomu a dobrú trvanlivosť a sú vhodné pre presné optické prístroje, ako sú šošovky fotoaparátov a laserové zariadenia. V chemickom, ropnom, morskom a inom prostredí môžu antikorózne nátery pripravené z tantalových cieľových materiálov účinne chrániť zariadenia, potrubia a nádoby pred koróziou.