Baoji Yusheng Metal Technology Co, Ltd sa špecializuje na výskum a výrobutantalové naprašovacie terčea vákuové nanášacie materiály. Keďže tantal má schopnosť vytvárať oxidové filmy a má ochranný účinok, tantalové terče sa široko používajú ako substráty na výrobu elektrolytických kondenzátorov. Tentokrát bola predstavená aplikácia tantalových naprašovacích terčov v oblasti mikroelektroniky.
Tantalové terče pre termálne atramentové tlačové hlavy
Termálne atramentové tlačové hlavy možno použiť pri výrobe tenkovrstvových integrovaných obvodov, čo uľahčuje použitie tantalových terčov. Vo výrobnom procese integrovaných obvodov sa tenkovrstvové rezistory používajú na rýchle zahriatie filmovej vrstvy atramentu s hustotou energie blízkou 1,28E9 wattov/m2, takže niektoré extrémne malé atramenty sa odparujú a vytvárajú rozšírené bubliny, ktoré sú v skutočnosti malé. vysunuté kvapôčky atramentu. . Pretože atramenty s vysokou teplotou môžu v niektorých zariadeniach na atramentovú tlač spôsobiť kavitáciu, použitie tantalových antikavitačných filmov môže chrániť inštalácie atramentu.
Tantalové terče na pokovovanie medi
Tantalové tenké vrstvy majú zjavné výhody vo výrobnom procese integrovaných obvodov. Jedným z hlavných pokrokov v používaní tantalových naprašovacích terčov je aplikácia medeného pokovovania. Fotorezistové masky a techniky plazmového leptania nie je možné použiť na vytvorenie medi, pretože meď je v podmienkach nízkoteplotného plazmového leptania. Nevytvárajú sa požadované prchavé zložky. Vo všeobecnosti vysoká vodivosť medených materiálov vyžaduje, aby bariérový film úplne izoloval meď. Ak je však bariérový film príliš hrubý, výhody vysokej vodivosti medených prepojení sa stratia. Preto je dôležité, aby nanášanie bariérového filmu v schéme pokovovania meďou malo dobré pokrytie stupňov a znížené výčnelky v priechodných/výkopových dutinách. Pri výmene 0.10um medených integrovaných obvodov, tantalu a oxidu dusnatého PVD bariérové filmy vykazujú niektoré jedinečné výhody, ako je dobrá difúzia medi a dobrá priľnavosť k elektrolytom a medi.
The99,98 percenta tantalových cieľovvyrobené spoločnosťou Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. sa často používajú ako vykurovacie diely, tepelnoizolačné diely a vsádzkové nádoby pre vákuové vysoké pece. Tantalové terče vyrábané našou spoločnosťou nemôžu byť použité ako substráty v chemickom priemysle. , letecký priemysel, lekárske vybavenie a ďalšie oblasti.
