Dec 29, 2022 Zanechajte správu

Aké sú požiadavky na cieľový materiál pre tantalový prášok?

V posledných rokoch sa polovodičová technológia rýchlo rozvíjala a dopyt po tantale používanom ako naprašovaný film sa postupne zvyšoval. V integrovaných obvodoch je tantal umiestnený medzi kremíkové a medené vodiče ako difúzna bariéra. Výrobné metódy prerozprašovanie tantalových terčovzahŕňajú metalurgiu ingotov (I/M) a práškovú metalurgiu (P/M). Tantalové terče s nižšími požiadavkami sa vo všeobecnosti vyrábajú z tantalových ingotov. V niektorých prípadoch s vyššími požiadavkami však nemožno použiť metódu I/M a na jej výrobu je možné použiť iba metódu práškovej metalurgie. Napríklad I/M metóda nemôže produkovať zliatinové terče kvôli rôznym bodom topenia tantalu a kremíka a nízkej húževnatosti zlúčenín kremíka.

Tantalum Powder manufacturer
Tantalový prášok

Látky, ktoré kontaminujú polovodičovú súčiastku, nesmú byť prítomné v tvorbe filmu. Keď sa vytvorí naprašovací film, ak sú v terči z tantalu (zliatina, zlúčenina) nečistoty, tieto nečistoty sa dostanú do naprašovacej komory, čo spôsobí, že sa hrubé častice prichytia k substrátu a skratujú obvod tenkého filmu. Zároveň môžu byť nečistoty aj dôvodom nárastu vyčnievajúcich častíc v tenkom filme. Nečistotné plyny ako kyslík, uhlík, vodík a dusík v cieli spôsobia abnormálne javy a spôsobia problémy s rovnomernosťou vytvoreného filmu. Okrem toho pri metóde práškovej metalurgie je rovnomernosť naneseného filmu funkciou veľkosti zŕn v terči a čím jemnejšie je zrno v terči, tým rovnomernejší je získaný film. Preto v odbore existuje potreba vysoko kvalitných tantalových práškov a tantalových terčov. Preto, aby sa získal vysoko kvalitný tantalový prášok a tantalový terč, je potrebné znížiť obsah nečistôt v tantalovom prášku a zvýšiť čistotu tantalového prášku.

Sputtering Tantalum Targets Factory
Naprašovanie tantalových terčov

Baoji Yusheng Metal Technology Co, Ltd môže vyrábaťtantalové práškyrôznych veľkostí častíc. Pod predpokladom zabezpečenia vysokej kvality má naša spoločnosť kompletný sortiment práškových tantalových kovov, ktoré dokážu uspokojiť potreby rôznych zákazníkov v oblasti výskumu a vývoja, testovania, výroby, spotreby atď.

Zaslať požiadavku

Domov

Telefón

E-mailom

Vyšetrovanie