S rýchlym rozvojom polovodičovej technológie sa postupne zvyšuje dopyt po tantale používanom ako naprašovaný film. V integrovaných obvodoch pôsobí tantal ako difúzna bariéra. medzi suchým kremíkom a telom vodidla. Metódy výroby naprašovacích terčov sú ingotová metalurgia (L/M) a prášková metalurgia (P/M). Bežne používané terče sú vo všeobecnosti vyrobené z molybdénových ingotov, ale v niektorých špeciálnych prípadoch, ako sú terče zo zliatiny striebra a kremíka, nie je možné použiť metódu L/M kvôli rôznym bodom topenia tantalu a kremíka a nízkej húževnatosti zlúčenín kremíka. Ako cieľ možno použiť iba práškovú metalurgiu.
Výkon terča priamo ovplyvňuje výkon naprašovaného filmu. Látky, ktoré kontaminujú polovodičovú súčiastku, nesmú byť prítomné pri tvorbe filmu. Počas vytvárania kovového naprašovacieho filmu, ak sú v tantalovom terči nečistoty, nečistoty sa zavedú do tantalovej naprašovacej komory, čo spôsobí, že sa hrubé častice prichytia k terčovému substrátu a spôsobia zlyhanie obvodu tenkého filmu. Nečistoty môžu zároveň spôsobiť nárast vyčnievajúcich častíc v tenkom filme. Najmä nečistoty, ako je plynný kyslík, uhlík, vodík, dusík atď., prítomné v cieli, sú škodlivejšie, pretože spôsobujú abnormálny výboj, čo spôsobuje problémy s rovnomernosťou vytvoreného filmu. Okrem toho pri metódach práškovej metalurgie je rovnomernosť naneseného filmu funkciou veľkosti zŕn v terči, pričom jemnejšie zrná v terči vedú k rovnomernejšiemu filmu. Preto sú na kvalitu tantalového prášku a tantalových terčov kladené vysoké požiadavky.
Aby sa získal vysoko kvalitný strieborný prášok a tantalové terče, musí sa najprv znížiť obsah nečistôt v molybdénovom prášku a musí sa zlepšiť čistota tantalového prášku. Ako všetci vieme, výkon tantalového materiálu je relatívne stabilný, ale tantalový prášok s relatívne jemnou veľkosťou častíc je veľmi aktívny. Dokonca aj pri normálnych teplotách je ľahké reagovať s kyslíkom a dusíkom, čo výrazne zvýši obsah nečistôt, ako je kyslík a dusík v tantalovom prášku. zlepšiť. Hoci čistota niektorých kovových tantalových produktov, ako sú komerčné tantalové ingoty, môže dosiahnuť 99,995 percent alebo dokonca vyššiu, čím jemnejší je tantalový prášok, tým vyššia je zodpovedajúca aktivita a zvyšuje sa aj schopnosť adsorbovať kyslík, dusík, vodík a uhlík. Zvýšenie čistoty tantalového prášku nad 99,99 percent sa vždy považovalo za dosť ťažké a ťažko dosiahnuteľné. Dokonca sa uvažuje, že je ťažké ďalej znižovať obsah ktorejkoľvek zo škodlivých nečistôt kyslíka, uhlíka, vodíka a dusíka a ešte ťažšie je súčasne znižovať obsah týchto štyroch škodlivých nečistôt. Avšak zmenšenie veľkosti častíc tantalového prášku je veľmi potrebné na zlepšenie kvality tantalového prášku a tantalových terčov. Cieľové pole dúfa, že získa vysoko čistý tantalový prášok s priemernou veľkosťou častíc D<25>
Baoji Yusheng Metal Technology Co., Ltd. dokáže vyrábať rôzne druhy tantalových produktov ako naprvysoko čisté tantalové terče, naprašovacie tantalové terče a tantalové terče pre polovodiče. Zodpovedajúcim nákupným potrebám sa môžete kedykoľvek obrátiť na zamestnancov našej spoločnosti.
