Naprašovacie terče z molybdénovej (10 %) zliatiny nióbu majú široké možnosti použitia v tenkovrstvových solárnych článkoch a displejoch. Avšak v dôsledku absorpcie kyslíka nióbovým práškom počas spekania má spekaný molybdén-nióbový polotovar vysoký obsah kyslíka a nízku hustotu. Tentoraz bol nióbový prášok s nióbovým uhlíkovým povlakom pripravený chemickou reakciou pár v atmosfére CH4.
Nióbová uhlíková vrstva nielen pomáha predchádzať absorpcii kyslíka, ale môže sa tiež úplne spotrebovať reakciou s kyslíkom pri požadovanej teplote.
Študovali sa účinky spôsobu prípravy, reakčného média a reakčných parametrov na výkonnosť nióbovej uhlíkovej vrstvy a optimálne podmienky procesu sa určili nasledovne: teplota 60}0 stupňov, reakčný čas 270 minút a tlak plynu 0,04 mpa .
Morfológia povrchu, chemické zloženie, distribúcia a rovnomernosť povlaku boli charakterizované skenovacou elektrónovou mikroskopiou, röntgenovou fotoelektrónovou spektroskopiou, mikroanalýzou elektrónovou sondou, Ramanovou spektroskopiou a mikroskopiou atómových síl.
Obsah kyslíka a uhlíka bol stanovený pomocou analyzátorov ONH a CS. Povrchovo modifikovaný nióbový prášok bol zmiešaný s molybdénovým práškom a vákuovo sintrovaný, čím sa získal Mo-10%Nb polotovar s obsahom kyslíka 190 ppm, obsahom uhlíka 290 ppm a relatívnou hustotou 93 %.
Použitie nióbových terčov
Nióbové naprašovacie terče, ako kľúčová zložka nióbu a jeho zliatinových filmov, sa široko používajú v prostrediach odolných voči korózii, ako sú solárne články, farebné TFT LCD obrazovky, optické šošovky, elektronické zobrazovanie, ukladanie informácií, sklenené povlaky, ako aj doprava, chemická výroba a pod.
V súčasnosti sa nióbové naprašovacie terče používajú hlavne na povrchové nátery pokročilých dotykových obrazoviek, plochých panelových displejov a energeticky úsporného skla. Má antireflexný účinok na sklenené obrazovky.
Nióbové terče s vysokou čistotou sú dostupné v rôznych formách, čistotách, veľkostiach a cenách. Kontaktujte nás pre podrobnosti!
