Pojem "rozprašovacia terča" opisuje zdroj naprašovania, ktorý je naprašovaný a nanesený na substrát magnetrónovým naprašovaním, viacoblúkovým iónovým pokovovaním alebo inými typmi poťahovacieho zariadenia za vhodných procesných podmienok na vytvorenie rôznych funkčných tenkých vrstiev. Naprašovacie terče sú rozsiahle Používa sa v rôznych odvetviach vrátane solárnych článkov, plochých displejov, polovodičov, elektroniky s plochými panelmi, nástrojov, skla a dekoratívnych aplikácií. V rôznych oblastiach sú potrebné odlišné cieľové materiály.
Nastavenie horiaceho cieľa
Podľa postupu možno prípravu materiálov naprašovacích terčov rozdeliť do dvoch kategórií: prášková metalurgia a liatie tavením. Okrem čistoty, hustoty, veľkosti zŕn a kryštálovej orientácie materiálu sa musia starostlivo kontrolovať okolnosti, za ktorých sa materiál zahrieva počas procesu tepelného spracovania, ako aj následné techniky spracovania. ovládanie.
1.Kovoobrábanie s práškami
Na úspešnú prípravu terčov pomocou práškovej metalurgie je dôležité: (1) zvoliť si vysoko čistý a ultrajemný prášok ako suroviny; (2) zvoliť technológiu tvarovania a spekania, ktorá môže dosiahnuť rýchle zhutnenie, aby sa zabezpečila nízka pórovitosť cieľa a riadila sa veľkosť zrna; a (3) prísne monitorovať zavádzanie prvkov nečistôt.
2. Prístup tavného odlievania
Jednou zo základných techník na vytváranie naprašovacích terčov je proces tavného odlievania. Tavenie a odlievanie ingotu sa zvyčajne vykonáva vo vákuu alebo v ochrannej atmosfére, aby sa zabezpečilo, že obsah prvkov nečistôt je tak nízky, ako je to len možné. Avšak určité množstvo pórovitosti vo vnútri materiálová kostra je nevyhnutná počas procesu odlievania. Kvalita naprašovaného filmu bude ovplyvnená týmito pórmi, pretože spôsobia rozptýlenie častíc počas procesu naprašovania. Na zníženie jeho priepustnosti sú potrebné ďalšie tepelné spracovanie a postupy tepelného spracovania.
