Cieľový materiál má široký trh, rôzne užitočné využitie a sľubnú budúcnosť. Poďme si rýchlo prejsť primárne požiadavky na výkon cieľového materiálu, aby ste mohli lepšie pochopiť výkon materiálu. Úprimne dúfam, že to bude pre vás užitočné.
Čistota: Pretože čistota terča má významný vplyv na výkon filmu, čistota je jedným z primárnych ukazovateľov výkonu terča. Kritériá čistoty cieľového materiálu sa však líšia v praktických aplikáciách. Napríklad veľkosť kremíka doštičky sa zväčšili zo 6′′, 8′′ na 12′′ v dôsledku rýchlej expanzie mikroelektronického priemyslu a šírka vodičov sa zmenila z 0,5 um na 0,25 um, 0 .18um alebo dokonca 0.13um, predtým 99. Cieľová čistota 995 % môže spĺňať požiadavky postupu 0.35umIC, zatiaľ čo 99 je potrebných na prípravu 0.18um riadok.99,9999 % alebo dokonca 999 %.
Obsah nečistôt: Hlavnými zdrojmi znečistenia pre deponovaný film sú nečistoty v pevnej látke a kyslík a vodná para v póroch. Rôzne ciele z rôznych dôvodov vyžadujú rôzny obsah nečistôt. Napríklad sektor polovodičov má špecifické normy pre koncentráciu rádioaktívne prvky a alkalické kovy v terčoch vyrobených z čistého hliníka a hliníkových zliatin.
Hustota: Obvykle sa vyžaduje, aby materiál terča mal vyššiu hustotu, aby sa zmenšili póry v pevnej látke a zvýšila sa funkčnosť naprašovaného filmu. Elektrické a optické vlastnosti filmu sú tiež ovplyvnené hustotou materiálu terča, okrem rýchlosti naprašovania.Výkon filmu sa zvyšuje s hustotou terča.Schopnosť materiálu terča prežiť tepelné namáhanie počas procesu naprašovania sa tiež zlepšuje zvýšením jeho hustoty a pevnosti.Jedným z hlavných ukazovateľov výkonu terča je hustota.
