Dnes si rozoberieme podmienky komory, posledný faktor, ktorý ovplyvňuje tvorbu veľkoplošných povlakov. Samotný cieľový materiál má problémy s kvalitou, tvarom, orientáciou kryštálov a ďalšími faktormi. Primárny rozdiel medzi súčasnými faktormi a faktormi uvedenými vyššie je, že súčasné faktory sa týkajú výlučne vonkajších podmienok a nie samotného cieľového materiálu.
Editor vám potom umožní plne pochopiť, ako podmienky komory ovplyvnia tvorbu filmu cieľa.
Či je dutina čistá alebo nečistá, alebo ak výrobný proces trvá príliš dlho, na povrch dutiny sa adsorbuje viac nečistôt. Tieto kontaminanty sa prejavia počas výrobného procesu a priľnú k povrchu terča. Náboje sa pravdepodobne nahromadia v konvexnej oblasti počas procesu naprašovania, čo zväčší veľkosť uzlíkov a výsledkom bude výrazný výboj, ktorý bude mať tiež vplyv na kvalitu filmu.
Okrem toho sa nevodivé rozprašovanie generované reakciou môže prilepiť na povrch materiálu terča a vytvárať uzlíky, ak dôjde k miernemu úniku vzduchu v komore, čo zníži účinnosť a rovnomernosť vytvárania filmu. Výsledkom je, že použitie cieľ je značne ovplyvnený podmienkami komory.
Na začiatku sa nánosy dajú jednoducho odstrániť spálením terča čistým argónom, ale ak sa to nerieši, nános sa časom zväčší a spôsobí výrazné iskrenie, čo má vplyv na výrobu. Cieľ by sa mal spáliť silným prúdom pred každou výrobou, aby sa z jej povrchu odstránili akékoľvek nečistoty. Na udržanie čistého prostredia na nanášanie sa vákuová komora bežne leští, vysáva a utiera. Sieť vriec je tiež pieskovaná, aby sa odstránili všetky kovové reaktanty, ktoré na nej priľnuli.
Použitie cieľového materiálu bude ovplyvnené prostredím v nanášacej komore, čo bude mať vplyv aj na kvalitu filmu. Väčšina ľudí sa počas procesu nanášania sústredí na samotný cieľ, ignorujúc podmienky v komore, preto príležitostne značná časť Neuspokojivý povlak je spôsobený tým. Dúfam, že priatelia by si po prečítaní tejto eseje mali byť vedomí podmienok v komore!
